- 創(chuàng)新的軟件
- 動(dòng)態(tài)刻蝕時(shí)間調(diào)節(jié)
- 多酸沖洗選項(xiàng)
- 占地面積小

RKD生產(chǎn)的Elite Etch是一臺(tái)自動(dòng)混酸開(kāi)封機(jī)，通過(guò)整合了先進(jìn)的特點(diǎn)使得它可以獲得更高的產(chǎn)能。新開(kāi)封機(jī)的設(shè)計(jì)通過(guò)將硝酸、硫酸或混酸精確分配到器件上，可以更加快速和容易的打開(kāi)較精細(xì)的封裝，而不會(huì)損傷樣品。

RKD Elite Etch 酸開(kāi)封機(jī)內(nèi)包含了眾多工程創(chuàng)新。整體式刻蝕頭組件是由高等級(jí)的碳化硅加工而成，可以良好的用來(lái)抵抗酸腐蝕。再加上主動(dòng)氮?dú)獗O(jiān)測(cè)和清洗系統(tǒng)，這一整體設(shè)計(jì)可以在刻蝕后降低殘留在刻蝕頭上酸的發(fā)煙—而對(duì)于其它沒(méi)如此復(fù)雜的設(shè)計(jì)則是一種常見(jiàn)現(xiàn)象。我們這種整體碳化硅選夠縮短加熱時(shí)間。

器件壓制組件（壓桿芯頭）是由手動(dòng)激活的，設(shè)計(jì)用于大量的運(yùn)動(dòng)。壓桿芯頭正常情況是縮回的，并且僅當(dāng)安全蓋完全關(guān)閉后才伸出。壓桿芯頭的垂直移動(dòng)保證器件穩(wěn)定在刻蝕頭上，從而消除了無(wú)論是器件還是夾具的移動(dòng)。

在每次開(kāi)始和結(jié)束刻蝕程序后，安全蓋由手動(dòng)關(guān)閉和打開(kāi)。關(guān)閉安全蓋，開(kāi)始已經(jīng)編制好的刻蝕步驟的程序，打開(kāi)安全蓋將停止所有刻蝕步驟。所有連接到刻蝕盤(pán)的酸管路由快速對(duì)稱(chēng)壓力節(jié)點(diǎn)制成，以消除麻煩的高溫密封問(wèn)題。

掌上型鍵盤(pán)
操作簡(jiǎn)單不僅僅體現(xiàn)在RKD的軟件設(shè)計(jì)上，即軟件會(huì)持續(xù)檢查和保護(hù)系統(tǒng)防止操作失誤，而且體現(xiàn)在簡(jiǎn)單而直觀的手持式鍵盤(pán)上。只需要簡(jiǎn)單的培訓(xùn)，凡是能夠使用手機(jī)的任何人員都可以操作運(yùn)行Elite Etch開(kāi)封機(jī)。

通風(fēng)櫥的空間是非常珍貴的，所以我們已經(jīng)設(shè)計(jì)了較小的占地面積，同時(shí)增強(qiáng)了每一個(gè)可能的安全特性。單獨(dú)的熱交換器的引入可以將廢酸溫度降低到90攝氏度以下，這允許進(jìn)一步減小系統(tǒng)尺寸---我們僅僅使用一個(gè)廢酸瓶。

RKD Engineering集成了雙控制用于所有液體在瓶容器和開(kāi)封機(jī)之間進(jìn)行耦合。內(nèi)部連接是在特氟龍密封的管路內(nèi)運(yùn)行的，它可以由瓶子盒的任何一端來(lái)供給。瓶子容器裝置內(nèi)包含了液體傳感器，當(dāng)酸從任何一個(gè)瓶子中泄露后都會(huì)給操作員發(fā)出警告。Elite Etch開(kāi)封機(jī)即能夠使用500ml美標(biāo)瓶子，也可以使用日本標(biāo)準(zhǔn)的瓶子。

系統(tǒng)安全
對(duì)于操作員來(lái)說(shuō)，在任何開(kāi)封機(jī)上更換酸瓶都具有一定的風(fēng)險(xiǎn)。我們已經(jīng)設(shè)計(jì)裝配了一個(gè)通用旋轉(zhuǎn)鉸鏈?zhǔn)沟酶鼡Q瓶子時(shí)沒(méi)有任何麻煩。這一通用旋轉(zhuǎn)鉸鏈的詳細(xì)結(jié)構(gòu)顯示如下。另外，瓶子通氣系統(tǒng)可以防止酸氣進(jìn)入瓶子盒內(nèi)。

產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)

尺寸 (w x d x h)
開(kāi)封機(jī)： 190 x 318 x 305 mm
瓶子組件： 254 x 127 x 279 mm
重量： 大約. 35 lbs.(16 Kg)
氣體壓力： 55 - 70 psi. (N2) or CDA
電源： 90 - 250 VAC
酸溫度范圍： 20℃- 250℃
酸溫度設(shè)定值： 1.0℃- 0.1℃
刻蝕腔(可高達(dá))： 22 x 22 mm

軟件操作規(guī)格
酸的選擇 ：發(fā)煙硫酸/發(fā)煙硝酸/混酸
注意: 所有混合比例都是在泵系統(tǒng)內(nèi)部動(dòng)態(tài)準(zhǔn)備的。

混酸比例 (硝酸到硫酸比例)： 9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1

刻蝕后沖洗選擇：發(fā)煙硫酸/發(fā)煙硝酸/混酸/無(wú)沖洗
注意: 酸的沖洗溫度設(shè)定是根據(jù)刻蝕溫度自動(dòng)校準(zhǔn)的。

刻蝕時(shí)間：1 - 1,800 seconds ( 1秒的增加幅度)
注意: 刻蝕時(shí)間能夠在刻蝕期間動(dòng)態(tài)調(diào)整。

刻蝕形式：
(i) 脈沖刻蝕
(ii) 往復(fù)刻蝕 – 酸脈動(dòng)
刻蝕溫度范圍：
20℃- 90℃ (硝酸)
20 - 250℃(硫酸)
20 - 100℃ (混酸)

刻蝕劑流量選擇：1 - 6 ml.每分鐘（所有酸和混酸）

操作程序存儲(chǔ)：100 個(gè)程序存儲(chǔ)，非易丟失存儲(chǔ)器

軟件升級(jí)：通過(guò)RS232或USB連接電腦

安全設(shè)計(jì)特點(diǎn)
EMO緊急停電源開(kāi)關(guān)
刻蝕頭安全：超溫保護(hù)傳感器電路
泄露檢查傳感器： (i) 開(kāi)封機(jī)主體；(ii) 酸瓶盒組件
二級(jí)防護(hù)：二級(jí)防護(hù)
酸煙霧降低：廢酸熱交換以降低酸煙霧